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穩(wěn)定性:六個月內(智能型為一年)不超過大量程的基本誤差值 振動影響:在任意軸向上,振動頻率為200Hz時,誤差為測量范圍上限的±0.05%/g
●精度高 ●量程、零點外部連續(xù)可調 ● 穩(wěn)定性能好 ● 正遷移可達500%、負遷移可達600%
管理解決方案分子污染(計量和過程) 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測和管理解決方案,分子污染的新概念。
③用于通過M12插頭控制PentaLine和adixen前級泵(ACP系列) ④用于通過絞合線控制前真空安全閥
閥在斷電時切換到起始位置(機械返回式彈簧) 在電源故障時由機械返回式彈簧復位
自由交叉式切換,即便在供氣面積很小時也能保證切換功能 即便在電源故障時也能提供安全保障 (單穩(wěn)態(tài)設計) 帶制動裝置的手動應急控制
與手動平衡的兩向或三向控制線圈相比,AutoFlow單元通過防止溢出來節(jié)省額外的泵能量。